Zu den Problemen bezüglich der Genauigkeit von Massenflussmessern
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Abgesehen von den unterschiedlichen Anforderungen an die Drucksensoren und die Massenstromregler sind alle anderen Aspekte gleich. Ich würde gerne wissen, wie man die Genauigkeit des Massenstrommessers bestimmt – wobei der Gasgehalt in der endgültigen Lösung im ppm-Bereich liegt
Die Genauigkeit lässt sich nur schwer messen; sie wird vom Hersteller bereits bei der Fertigung anhand von Referenzwerten bestimmt. Man können nur die besten Prozessbedingungen bieten und versuchen, alle Komponenten konstant zu halten – Druck, Stabilität sowie Durchfluss müssen stabil sein
Gibt es eine Formel, mit der die Genauigkeit eines Massenstrommessers berechnet werden kann?
Das lässt sich nicht berechnen, denn man kann nicht sicher sein, dass der gemessene Durchfluss genau ist. Die Berechnung ist schließlich nur eine Formel – die Messwerte hängen außerdem von vielen Faktoren ab
Gibt es also eine Möglichkeit, einen ungefähren Rahmen zu bestimmen?
Der Massenstrommesser, den Sie derzeit verwenden, arbeitet nach diesem Prinzip
Es ist noch nicht entschieden, welcher Typ von Durchflussmesser verwendet werden soll – auch der Funktionsmechanismus ist noch unbekannt. Hauptsache, der Durchflussmesser eignet sich für die Anwendung. Im Moment muss nur die Genauigkeit des Durchflussmessers festgelegt werden. Die Bedingungen sind bereits bekannt – ich weiß nur nicht, wie man die Genauigkeit berechnet
Das Ziel ist jetzt, Standardgase mit konstanten Spurengehalten herzustellen
Das ist also das Problem der Kalibrierung – bei Massenstrommessern wird in der Regel die Gewichtsmethode zur Kalibrierung verwendet.