Empfehlungen für Geräte zur Analyse des Siliziumtetrafluorid-Gehalts
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Siliziumtetrafluorid-Zyklusgas: Siliziumtetrafluoridgehalt größer als 98,5 %, Stickstoffgehalt kleiner als 0,2 %. Betriebstemperatur: 20–45 °C, Betriebsdruck: 0 MPa, Dichte: 4,64 kg/Nm³, Rohrgröße: DN25. Heiße Abgase: Stickstoff 74,86–72,9 %, Sauerstoff 12,09–6,54 %, Kohlendioxid 4,07–6,58 %, Wasser 8,09–13,11 %, NOx (berechnet auf 3,5 % O2) 200 mg/m³. Betriebstemperatur: 300 °C, Betriebsdruck: 0 MPa, Rohrgröße: DN25. Gibt es irgendwelche guten Geräte zur Messung des Siliziumtetrafluorid-Gehalts?
"Betriebsdruck 0 MPa? ? ? ? Dieser Satz ist unverständlich
Irgendwo zwischen leichtem Überdruck und leichtem Unterdruck. .