Silikonkern mit Farbe
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Hallo zusammen, viele Leute sagen, dass die Färbung des Siliziumkerns ein Problem des Nitrierens sei, aber nach der Prüfung des N2-Gehalts in H2 wurde festgestellt, dass der N2-Gehalt sehr niedrig war.； Darüber hinaus wurde nach einer elektronischen Sondenanalyse des farbigen Siliziumkerns festgestellt, dass kein N-Element vorhanden war. Bitte geben Sie mir Ihren Rat! ! !
Persönlich denke ich, dass es an einer unvollständigen Reinigung und Trocknung des Ofenrohrs liegt.
Ich persönlich denke, dass es etwas mit der Reinheit des Wasserstoffs zu tun hat. Eine Verbesserung der Reinheit des Wasserstoffs wird die Dinge wahrscheinlich verbessern.
@Im vierten Stock kommt es selten zu Oxidation. Darüber hinaus wurde eine große Anzahl von Proben (farbige Oberflächen) durch elektronische Sonden erfasst und es wurde festgestellt, dass sie Si- und C-Elemente bzw. Si-, O- und C-Elemente enthielten. Und diese farbigen Siliziumkerne können durch HF-Lösung korrodiert werden
@Sechster Stock: Wenn es um die Reinheit des Wasserstoffs geht, welche Komponente im zirkulierenden Wasserstoff beeinflusst die Anomalie auf der Oberfläche des Siliziumkerns? Darüber hinaus weisen Reinwasserstoff-Wachstumsöfen auch abnormale Siliziumkerne auf.
Beginnen Sie mit den folgenden Aspekten: Für den Reduktionsofen ist die Stickstoffaustauschluft qualifiziert und der Taupunkt wird auf unter -45 °C geregelt. Jeder Ofen muss vermessen, aufgezeichnet und gezeichnet und mit dem Farbkernzustand verglichen werden. (Achten Sie beim Reinigen darauf, die Ofenwand zu trocknen und zu reinigen. Dies ist sehr wichtig. Lassen Sie kein Alkali oder andere Substanzen auf die Ofenwand gelangen. Der Druck der rotierenden automatischen Reinigungsdüse ist sehr wichtig.) Ermitteln Sie den Sauerstoffgehalt im Gas nach dem Stickstoffaustausch, zeichnen Sie eine Kurve für jede Charge auf und vergleichen Sie sie mit der Farbkernsituation. Nach dem Ersetzen von Stickstoff durch Wasserstoff erfolgt die Bestimmung des Stickstoffgehalts im Wasserstoff mit der gleichen Methode wie oben. Vermeiden Sie außerdem eine Kontamination des Siliziumkerns. Dieses muss aus einem Silikonkern gewonnen und bei der Verarbeitung und Reinigung streng kontrolliert werden. Tatsächlich sind diese Qualitätskontrollen im Produktionsprozess von Polysilizium nicht mehr schwierig. Der Schlüssel liegt im stetigen Rückgang des Gesamtstromverbrauchs und im sicheren Betrieb.
Vielen Dank! Darüber hinaus möchte ich auch darum bitten, dass sich der Silikonkern (Farbe ist gelbbraun und schwarz) hauptsächlich an der Wurzel ablöst. Hängt dies mit der niedrigeren Temperatur der Siliziumkernwurzel während der Zufuhr zusammen, was zur Bildung von amorphem Silizium führt? Und welche Temperatur ist beim Füttern angemessen? (Wir verwenden einen quadratischen Siliziumkern)