Beim Quadrat-Siliziumkern tritt häufig ein Abblättern des Siliziumkerns auf

Ich frage alle: (1) Nach jedem Ausbrennen kommt es an der Wurzel des Siliziumstabs oft zu einem Abplatzen des Siliziumkerns. Zudem befinden sich auf dem quadratischen Siliziumkern mehr oder weniger gelb-braune Verfärbungen. Was ist eigentlich der Grund dafür? (2) Ich denke, es handelt sich um amorphes Silizium. Wenn dem so ist, was verursacht das dann? (3) Wenn man allein von der niedrigeren Temperatur ausgeht, dann sind die Widerstandswerte von quadratischen Siliziumkernen im Vergleich zu runden Siliziumkernen sehr ähnlich. Bei derselben Stromstärke und unter denselben Bedingungen tritt bei einigen Kernen das oben beschriebene Phänomen auf, während es bei anderen Kernen nicht auftritt – warum ist das so? (4) Gibt es keine Möglichkeit, das zu vermeiden oder zu lösen?

Jiangyin Dongsheng – hat das vielleicht etwas mit Siliziumkernen zu tun?

Ihr muss den Molekülverhältnis der Zufuhr anpassen. Auch die deutsche Firma Wacker hat quadratische Siliziumkerne verwendet – sie verfügen über ein eigenes Anpassungssystem

(1) Ist der Siliziumkern an der Abtrennstelle dicht? Es kann vorkommen, dass der untere Teil locker ist – abgesehen vom oben erwähnten Mischverhältnis muss man auch prüfen, ob die Düse sowie die Luftzufuhr angepasst werden können. Ein möglicher Grund für die braunliche Färbung des Siliziumkerns nach dem Erhitzen ist ein Problem im Reinigungsprozess. Zudem könnte es während des Betriebs zu Nitrierung kommen. Ich empfehle Ihnen, die Prozessschritte noch einmal genauer zu überprüfen – insbesondere den Reinigungsprozess sowie den Prozess der Umrüstung des Ofens. (2) Es gibt viele Ursachen für die Entstehung von amorphem Silizium – hauptsächlich spielen dabei das Verhältnis der Stoffe sowie die Temperatur im Ofen eine Rolle. (3) Was die Temperatur betrifft, so glaube ich, dass sie nur wenig Einfluss darauf hat, ob amorphes Silizium entsteht – das ist meine persönliche Meinung. Die Form des Siliziumkerns hat einen engen Einfluss auf die Erfolgsrate beim Einschalten des Ofens.

(1) Die Stelle, an der das Siliziummaterial abgelöst wird, ist die Wurzel des Siliziumstabs – das Siliziummaterial ist dort sehr dicht； Ist das Problem beim klar beschriebenen Prozess die Reinigung des Siliziumkerns? (Wir haben Kerne aus quadratischem Silizium gekauft.) Außerdem, wie Sie sagten, Nitridierung – aber wir starten den Ofen mit Wasserstoff, es gibt keinen Stickstoff. Es wird lediglich zyklischer Wasserstoff verwendet, der geringe Mengen an N2 enthält. (2) Außerdem gibt es noch eine Variante mit einer grauweißen Schicht auf der Siliziumoberfläche, die nicht durch HF-Lösung angegriffen werden kann. (3) Kann amorphes Silizium durch HF angegriffen werden? (4) Kann der Taupunkt bei geringen Mengen an Sauerstoff oder Wasser im Ofen vor dem Einheizen noch in Ordnung sein?

Wie kann man feststellen, ob die schwarz-gelbe Substanz an der Wurzel des Siliziumstabs sowie auf der Oberfläche des Siliziumkerns amorphes Silizium ist? Wie kann man feststellen, dass es sich um amorphes Silizium handelt? Ist das H2, das Sie verwenden, reines H2 oder recyceltes H2?

Verursacht HCl im Kreislauf H die Oxidation des Siliziumkerns?

Gibt es im Ausland Forschungen oder Literatur zu Anomalien bei Siliziumkernen? ？ ？

Es gibt etwas Wasser – dadurch ist es möglich, dass der Taupunkt den Anforderungen entspricht. Ich habe es selbst ausprobiert.