Abnutzung der Ofenwände des Trichlorsilanzink-Syntheseförens
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In den letzten Tagen ist bei mehreren Syntheseförnen für Trichlorsilan eine Abnutzung der Wandungen aufgetreten. Die Abnutzung tritt in einem Winkel von 45° oberhalb des Einlasslochs für Siliziumpulver auf. Hat jemand davon bereits Erfahrung gemacht? Gibt es eine Lösung, danke!
An dieser Stelle kann man es nur ausbessern – der Ausbesserungsbereich sollte etwas dicker sein
Es scheint, als wären Keramikrohre nützlich, aber wie hoch muss der Druck sein – und wie dünn müssen die Rohrwände sein?
Bis jetzt ist das noch nicht aufgetreten. Man sollte nur darauf achten, dass die Zufuhr für das Siliziumpulver nicht auf die Kühlrohre zeigt – sonst kann es zu Problemen mit dem Keramikkern des Ofens kommen
Man kann eine abriebfeste Schicht aufsprühen, wir verwenden die bessere.
Für welche Firma arbeiten Sie? Professionelle Herstellung von Trichlor?
Auch wir sind darauf nicht gestoßen. Anscheinend wird Ihr Problem durch einen Anstieg des Siliziumpulvers verursacht. Das bedeutet, Sie sollten den Druck im Ofen überwachen, um die Situation einzuschätzen, und den Druck des Chlorwasserstoffgases, der in den Ofen gelangt, verringern