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À part que les exigences en matière de capteur de pression et de régulateur de débit massique sont différentes, tout le reste est identique. Je voudrais savoir comment déterminer la précision d’un débitmètre de masse, sachant que la teneur en gaz dans la solution finale est de l’ordre du ppb
La précision est difficile à mesurer ; elle est déterminée par le fabricant lors des tests de sortie d’usine. Seules les meilleures conditions de traitement peuvent être utilisées, en veillant à maintenir les différentes composantes stables, ainsi que la pression et le débit
Y a-t-il une formule permettant de calculer la précision d’un débitmètre de masse ?
Cela ne peut pas être calculé, car on ne peut pas être sûr que le débit mesuré soit exact ; le calcul n’est en fait qu’une formule, et la valeur mesurée dépend de nombreux facteurs
Y a-t-il un moyen de déterminer une fourchette approximative ?
Le débitmètre de masse que vous utilisez actuellement fonctionne selon quel principe ?
On n’a pas encore déterminé quel type de compteur de débit utiliser, ni quel principe mettre en œuvre ; tant qu’il fonctionne, c’est bon. Maintenant, il s’agit de définir la précision du compteur de débit. Ce sont les seules conditions ; je ne sais pas non plus comment le calculer
L’objectif maintenant est de créer des gaz standards mixtes à teneur fixe
Il s’agit alors d’un problème de calibration ; en général, la méthode de pesée est utilisée pour calibrer les débitmètres de masse.