Recommandations d’instruments pour l’analyse du contenu en tétrafluorure de silicium
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Gaz de cycle de tétrafluorure de silicium : teneur en tétrafluorure de silicium supérieure à 98,5 %, teneur en azote inférieure à 0,2 %, température de fonctionnement : 20–45 °C, pression de fonctionnement : 0 MPa, densité : 4,64 kg/Nm³, dimension des tuyaux : DN25 ; Gaz chaud : azote 74,86–72,9 %, oxygène 12,09–6,54 %, dioxyde de carbone 4,07–6,58 %, eau 8,09–13,11 %, NOx (équivalent à 3,5 % d’O2) 200 mg/m³, température de fonctionnement 300 °C, pression de fonctionnement 0 MPa, dimension des tuyaux : DN25. Y a-t-il des équipements bons pour la détection du contenu en tétrafluorure de silicium ?
"Pression de fonctionnement 0 MPa ? ? ? ? Je ne comprends pas cette phrase
Entre une légère pression positive et une légère pression négative, je pense. .