प्रिय साथियों, क्या कोई जानता है कि वैक्यूम पंप का मिलान कैसे किया जाता है?

आम तौर पर, बैकिंग पंप का उपयोग करना अधिक क्रूड कॉन्फ़िगरेशन है।: बूस्टर पंप = 1:3. कुछ विदेशी निर्माता अपनी प्रक्रिया डिज़ाइन में अधिक आश्वस्त हैं और 1:5 या 1:6 भी चुनेंगे। मूल रूप से, एक सिद्धांत का पालन किया जाता है: बूस्टर पंप के इनलेट और आउटलेट के बीच एक अच्छा कामकाजी दबाव अंतर प्रदान करने के लिए बूस्टर पंप की संपीड़ित गैस को बैकिंग पंप द्वारा समय पर छुट्टी दी जानी चाहिए।

1. पंप की पंपिंग गति को एक निश्चित सक्शन दबाव के तहत प्रति यूनिट समय पंप पोर्ट के माध्यम से पंप की गई गैस की मात्रा के रूप में परिभाषित किया गया है। एक संपूर्ण वैक्यूम सिस्टम, चाहे वह किसी भी अनुप्रयोग के लिए हो, उसमें एक कंटेनर या कक्ष होना चाहिए जिसे खाली करने की आवश्यकता है, एक वैक्यूम इकाई, शायद एक वैक्यूम पंप, और कनेक्टिंग पाइप, वाल्व, कोल्ड ट्रैप आदि। वैक्यूम सिस्टम के घटकों के रूप में पाइप, वाल्व, कोल्ड ट्रैप आदि में गैस के प्रवाह में कुछ बाधाएँ होती हैं। दूसरी ओर, उन सभी में गैस के प्रवाह के लिए एक निश्चित चालकता क्षमता होती है, जिसे चालन कहा जाता है। यह गैस प्रवाह में एक बहुत ही महत्वपूर्ण अवधारणा है, और इसे इकाई दबाव अंतर के तहत प्रवाह दर के रूप में परिभाषित किया गया है। गैस का प्राकृतिक प्रवाह सदैव उच्च दबाव से निम्न दबाव की ओर होता है। उपरोक्त घटकों में से किसी के लिए, जब दोनों सिरों पर दबाव क्रमशः P1 और P2 हैं, और प्रवाहित होने वाली गैस की मात्रा Q है, तो घटक का प्रवाह संचालन U=Q/(P1-P2) है। विभिन्न वैक्यूम सिस्टम घटकों के प्रवाह संचालन को गणना, सिमुलेशन, माप आदि के माध्यम से निर्धारित किया जा सकता है। ज्यामितीय आकार से संबंधित होने के अलावा, यह गैस की प्रवाह स्थिति से भी संबंधित है। विभिन्न घटकों के संचालन को श्रृंखला और समानांतर में जोड़ा जा सकता है। 　　वैक्यूम पंप का उद्देश्य वैक्यूम कंटेनर से गैस निकालना है, लेकिन अक्सर पंप के निकास पोर्ट को पंप किए जाने वाले कंटेनर से सीधे नहीं जोड़ा जा सकता है। प्रक्रिया की जरूरतों के कारण या तेल वाष्प से दूषित वैक्यूम इकाई के प्रदूषण स्तर को कम करने के लिए, इसे ठंडे जाल, वाल्व और पाइपलाइनों के माध्यम से पंप करने के लिए कंटेनर से जोड़ा जाना चाहिए। चूंकि प्रत्येक वैक्यूम घटक में एक निश्चित प्रवाह संचालन होता है, इसलिए यह कहा जा सकता है कि पंप को पंप किए जाने वाले कंटेनर से कनेक्ट होने के लिए एक निश्चित प्रवाह प्रवाहकत्त्व पारित करना होगा। जैसा कि चित्र में दिखाया गया है, पंप और वैक्यूम चैम्बर के बीच कनेक्टिंग पाइप में कोल्ड ट्रैप और वाल्व शामिल हो सकते हैं। यह मानते हुए कि पंप और निर्वात कक्ष के बीच प्रवाह चालन यू है, पंप को निर्वात कक्ष में हवा पंप करने के लिए प्रवाह चालन यू को पारित करना होगा, और इसकी पंपिंग क्षमता सीमित है। इस समय, कंटेनर पर वास्तव में सार्थक पंपिंग प्रभाव वैक्यूम चैम्बर के पंपिंग पोर्ट पर प्रभावी पंपिंग गति S0 होना चाहिए। उदाहरण के लिए, यदि पंप की नाममात्र पंपिंग गति S है, तो स्थिर गैस प्रवाह के दौरान प्रवाह संरक्षण के नियम के अनुसार S0 प्राप्त किया जा सकता है। एस और यू के बीच के संबंध को मूल वैक्यूम समीकरण कहा जाता है, जो वैक्यूम सिस्टम के डिजाइन पर आधारित मूल कानून है। 　　निर्वात के मूल समीकरण के अनुसार गणितीय रूप से दो चरम परिणाम प्राप्त किये जा सकते हैं। अर्थात्, जब प्रवाह चालन U बहुत बड़ा होता है, तो निर्वात कक्ष की प्रभावी पंपिंग गति S0 पंप की पंपिंग गति S के लगभग बराबर हो सकती है। ； जब पंप की पंपिंग गति S बहुत बड़ी होती है, या प्रवाह चालन U बहुत छोटा होता है, तो निर्वात कक्ष की प्रभावी पंपिंग गति S0 लगभग प्रवाह चालन U के बराबर होती है। उपरोक्त परिणामों को भौतिक रूप से समझना आसान हो सकता है। वैक्यूम चैम्बर एग्जॉस्ट पोर्ट से निकाली गई गैस को वैक्यूम पंप द्वारा निकाले जाने से पहले प्रवाह कंडक्टर यू (यानी, पाइप, वाल्व इत्यादि) से गुजरना होगा। हालाँकि, वैक्यूम चैम्बर एग्जॉस्ट पोर्ट से पंप पोर्ट तक निकाली गई गैस की गति उच्च दबाव से निम्न दबाव की ओर प्रवाह है, जबकि पंप पोर्ट से निकाली गई गैस एक निश्चित पंपिंग सिद्धांत के आधार पर कम दबाव से उच्च दबाव की ओर एक मजबूर प्रवाह है। यदि प्रवाह चालन यू बहुत बड़ा है, यानी, इसके माध्यम से गुजरने वाली गैस की मात्रा सीमित नहीं है, तो पंप की पंपिंग क्षमता अपनी पंपिंग गति से निर्धारित होती है, जो पंप पोर्ट सीधे वैक्यूम चैम्बर से कनेक्ट होने पर समान होती है। लेकिन अगर पंप की पंपिंग गति बहुत बड़ी है, यानी प्रवाह चालन यू पंपिंग गति के सापेक्ष बहुत छोटा है। इस समय, पंप की वास्तविक पंपिंग क्षमता उसकी पंपिंग गति पर निर्भर नहीं करती है, बल्कि प्रवाह प्रवाहकत्त्व यू से गुजरने की गैस की क्षमता पर निर्भर करती है। प्रवाह संचालन का मान पंप की प्रभावी पंपिंग गति S0 है। 　　पंप की पंपिंग क्षमता को अधिकतम करने के लिए, प्रवाह चालन यू को अधिकतम करना सबसे प्रभावी तरीका है, लेकिन इसे हासिल करना अक्सर मुश्किल होता है। पंपिंग गति को आँख बंद करके बढ़ाना और भी अवास्तविक है। इसलिए, बड़े प्रवाह संचालन और उच्च पंपिंग गति वाले पंप की पसंद पर विचार करना उचित है। बुनियादी वैक्यूम समीकरण से यह जाना जा सकता है कि प्रभावी पंपिंग गति S0, S या U के साथ एक नीरस रूप से बढ़ने वाला कार्य है। मूल निर्वात समीकरण द्वारा वर्णित सामग्री गहन नहीं है, लेकिन यह इतनी सरल भी नहीं है कि इसे सभी के लिए सामान्य ज्ञान के रूप में उपयोग किया जा सके। इसलिए, कई अनुप्रयोग क्षेत्रों में, उपयोगकर्ता अक्सर पंप पंपिंग गति पर संचालन की सीमा को अनदेखा करते हैं, जो वैक्यूम प्रौद्योगिकी अनुप्रयोगों के प्रभाव को बहुत प्रभावित करता है। 2. बिना हवा के रिसाव या अपस्फीति वाले वैक्यूम सिस्टम के लिए, यदि वैक्यूम चैंबर का आयतन V है और वैक्यूम चैंबर की प्रभावी पंपिंग गति S0 है, तो पंपिंग की प्रक्रिया के साथ, वैक्यूम चैंबर में दबाव समय के साथ निम्नलिखित परिवर्तन नियम का पालन करेगा। P0, t=0 पर दबाव है, जो प्रारंभिक दबाव है, और t=V/S0 को समय स्थिरांक कहा जाता है। 　　उपरोक्त नियमों से पता चलता है कि निर्वात कक्ष में दबाव हर बार लगभग 10 सेकंड में परिमाण के एक क्रम से कम हो जाता है। जाहिर है, टी जितना छोटा होगा, दबाव उतनी ही तेजी से गिरेगा। जब V स्थिर होता है, तो प्रभावी पंपिंग गति S0 जितनी अधिक होगी, क्षमता उतनी ही छोटी होगी। 　　हालाँकि, कोई भी वैक्यूम सिस्टम वायुरोधी या अपस्फीति-मुक्त नहीं है। भले ही यह वास्तव में वायुरोधी हो, अपस्फीति हमेशा मौजूद रहेगी। वास्तव में, समीकरण (3) निर्वात कक्ष में गैस निकालने की प्रक्रिया के दौरान पंप के दबाव परिवर्तन पैटर्न को दर्शाता है। जब दबाव अधिक होता है और सिस्टम में हवा के रिसाव और अपस्फीति की मात्रा अंतरिक्ष में गैस की मात्रा के सापेक्ष कम होती है, तो उनके प्रभावों को नजरअंदाज किया जा सकता है। यह माना जा सकता है कि रिसाव न होने और अपस्फीति न होने की शर्तें लगभग पूरी होती हैं, यानी नियम (3) लगभग स्थापित किया जा सकता है। जब दबाव कम होता है, तो सिस्टम के रिसाव और अपस्फीति को नजरअंदाज नहीं किया जा सकता है या यहां तक ​​कि मुख्य गैस भार भी नहीं बन सकता है, (3) का नियम विचलित हो जाएगा, जो दबाव ड्रॉप के धीमे होने में प्रकट होता है। आम तौर पर, जिस दबाव पर यह संक्रमण होता है वह लगभग 0.5Pa होता है। इसलिए, वैक्यूम सिस्टम की एक विशिष्ट पंपिंग प्रक्रिया में, दबाव पहले तेजी से गिरता है, और फिर एक निश्चित दबाव पर धीमा होना शुरू हो जाता है। चूंकि एक योग्य वैक्यूम सिस्टम की रिसाव दर पर सख्त आवश्यकताएं होती हैं, सिस्टम दबाव में कमी को प्रभावित करने वाला मुख्य कारक अपस्फीति है, और अपस्फीति एक धीमी प्रक्रिया है। भले ही बेकिंग जैसे सुदृढ़ीकरण उपायों का उपयोग किया जाता है, फिर भी एक निश्चित पूर्व निर्धारित दबाव तक पहुंचने में अक्सर लंबा समय लगता है। 　　कोई भी वैक्यूम सिस्टम पंपिंग समय को यथासंभव कम करने की उम्मीद करता है, जो दक्षता में सुधार और ऊर्जा खपत को कम करने से संबंधित है, लेकिन सभी वैक्यूम अनुप्रयोगों में पंपिंग समय को कम करने की स्थितियां नहीं होती हैं। विभिन्न वैक्यूम अनुप्रयोगों को दो प्रमुख श्रेणियों में विभाजित किया जा सकता है:: एक प्रकार में सिस्टम में हवा की रिहाई की मात्रा पर विचार नहीं किया जाता है, बल्कि केवल वैक्यूम की डिग्री की आवश्यकता होती है। ； दूसरे प्रकार के लिए निर्वात कक्ष में पर्याप्त अपस्फीति की आवश्यकता होती है, अर्थात, अपस्फीति दर को एक निश्चित महत्वपूर्ण मूल्य तक कम किया जाना चाहिए। इन दो अलग-अलग अनुप्रयोगों की अलग-अलग पंप कॉन्फ़िगरेशन आवश्यकताएँ हैं। पहले प्रकार के अनुप्रयोग के लिए, यदि वैक्यूम डिग्री 0.5pa से ऊपर होना आवश्यक है, जब तक कि समय स्थिरांक काफी छोटा है, पंपिंग समय को छोटा किया जा सकता है। हालाँकि, यदि वैक्यूम डिग्री 0.5Pa से कम होना आवश्यक है, तो दबाव परिवर्तन पर अपस्फीति के प्रभाव पर विचार किया जाना चाहिए। उत्सर्जित गैस की मात्रा समय के साथ धीरे-धीरे बदलती रहती है। खासतौर पर बिना पकाए। पूर्व निर्धारित कम समय में वैक्यूम की उच्च डिग्री प्राप्त करने के लिए, बड़ी मात्रा में आउटगैसिंग को बड़ी पंपिंग गति से पंप किया जाना चाहिए। कहने का तात्पर्य यह है कि, यदि हवा छोड़ने की मात्रा Q है और पंप की प्रभावी पंपिंग गति S0 है, तो संतुलन दबाव P=Q/S0 प्राप्त किया जा सकता है। यदि संतुलन दबाव निर्धारित किया जाता है, तो उस तक पहुंचने में जितना कम समय लगेगा, पंप के लिए आवश्यक प्रभावी पंपिंग गति उतनी ही अधिक होगी। वाष्पीकरण कोटिंग इस प्रकार का एक विशिष्ट अनुप्रयोग है। चूँकि वाष्पीकरण की गति तेज़ है और समय कम है, आउटगैसिंग के प्रभाव (अर्थात सक्रिय गैस का प्रभाव) पर विचार नहीं किया जाता है। हालाँकि, वाष्पित कणों की ऊर्जा कम होती है, और बंधन बल सुनिश्चित करने और बिखराव को कम करने के लिए अधिकांश कणों को टकराव के बिना वर्कपीस पर जमा करने की आवश्यकता होती है। इसके लिए आवश्यक है कि निर्वात कक्ष में औसत मुक्त पथ वाष्पीकरण स्रोत से वर्कपीस तक की दूरी से कम न हो, और संबंधित दबाव लगभग 1×10-2 Pa हो। यह वाष्पीकरण कोटिंग की वैक्यूम डिग्री की आवश्यकता है। 　　कम से कम समय में इस दबाव को कैसे प्राप्त किया जाए, यह पंप की प्रभावी पंपिंग गति के लिए आवश्यकताओं को आगे बढ़ाता है। सिद्धांत यह है कि समय जितना कम होगा, हवा छोड़ने की मात्रा उतनी ही अधिक होगी, प्रभावी पंपिंग गति की आवश्यकता उतनी ही अधिक होगी। इसलिए, बाष्पीकरणीय कोटिंग आम तौर पर दसियों किलोवाट की शक्ति के साथ एक शक्तिशाली पंपिंग गति के साथ एक तेल प्रसार पंप इकाई से सुसज्जित होती है। कार्यशील वैक्यूम तक कुछ से दस मिनट के भीतर पहुंचा जा सकता है। हालाँकि, इस प्रणाली के कारण वर्कपीस पर होने वाला तेल वाष्प प्रदूषण अपरिहार्य है, विशेष रूप से प्लास्टिक धातुयुक्त फिल्म परत जो पीले होने का खतरा है। वर्तमान में, टर्बोमोलेक्यूलर पंप की पंपिंग गति बड़े पैमाने पर वाष्पीकरण चढ़ाना की जरूरतों को पूरा नहीं कर सकती है। उच्च पंपिंग गति वाला क्रायोजेनिक पंप औद्योगिक पैमाने की कोटिंग की पहुंच से परे है। पंप किए गए स्थान में गैस लोड की विशेषताओं के अनुसार, स्थायी गैस निकालने के लिए आणविक बूस्टर पंप का उपयोग करके, जल वाष्प निकालने के लिए कम तापमान वाले घनीभूत जल कैप्चर पंप के साथ मिलकर, एक नई पंपिंग प्रक्रिया प्राप्त करने की उम्मीद है जो उच्च पंपिंग गति पर स्वच्छ वैक्यूम प्राप्त कर सकती है। जब निर्वात कक्ष में दबाव 0.5Pa से ऊपर होता है, तो मुख्य गैस घटक स्थायी गैस होता है, जबकि 0.5Pa से नीचे का मुख्य गैस घटक जल वाष्प (90%) होता है। चूंकि आणविक बूस्टर पंप में सुपर मीडियम वैक्यूम पंपिंग क्षमता होती है, इसलिए 100Pa से 0.5Pa तक पंपिंग का समय बेहद कम होता है। जब कम तापमान वाला कंडेनसेट संग्रह पंप 0.1Pa के बाद सक्रिय होता है, तो थोड़े समय में इनडोर दबाव को परिमाण के 1 क्रम से 1×10-2 Pa तक कम किया जा सकता है। 3-5m3 के बड़े पैमाने पर वाष्पीकरण कोटिंग उपकरण के लिए, 1000 लीटर प्रति सेकंड की क्षमता वाले 3-4 आणविक बूस्टर पंप और 5 किलोवाट की शक्ति के साथ कम तापमान वाले घनीभूत जल संग्रह पंप को कॉन्फ़िगर करके उपर्युक्त वायु निष्कर्षण प्रक्रिया को महसूस किया जा सकता है। यह निस्संदेह अभूतपूर्व है। बाद के प्रकार के अनुप्रयोग के लिए, चूंकि गैस रिलीज की मात्रा में परिवर्तन तापमान और समय पर निर्भर करता है और इसका गैस चरण स्थान के दबाव से बहुत कम संबंध होता है, जब तक दबाव मौजूदा सोखना मात्रा के अनुरूप संतुलन दबाव से कम होता है, यह स्थिति आम तौर पर गैस निष्कर्षण प्रक्रिया के दौरान पूरी होती है। इसलिए, भले ही एक मजबूत पंपिंग गति के साथ थोड़े समय में अंतरिक्ष दबाव बहुत कम स्तर तक कम हो जाता है, फिर भी यह निर्वात कक्ष में हवा की रिहाई की मात्रा को काफी कम नहीं कर सकता है। इसके बजाय, एक उचित पंपिंग गति को कॉन्फ़िगर किया जाना चाहिए ताकि वायु रिलीज की मात्रा उचित बेकिंग तापमान पर और उचित समय के भीतर प्रक्रिया के लिए आवश्यक स्तर तक पहुंच सके। इसमें आमतौर पर दर्जनों मिनट लगते हैं। इस प्रकार के विशिष्ट अनुप्रयोगों में टाइटेनियम सोना उद्योग में स्पटर कोटिंग और आयन चढ़ाना, और दुर्लभ पृथ्वी स्थायी चुंबक सामग्री का गलाना शामिल है। उनमें से, अतिरिक्त सक्रिय गैस फिल्म परत की गुणवत्ता और सामग्री की गुणवत्ता को प्रभावित करेगी, इसलिए प्रक्रिया में दीर्घकालिक ठीक निष्कर्षण प्रक्रिया होती है। 　　लगभग 1m3 के कोटिंग कक्ष के साथ स्पटरिंग या आयन कोटिंग उपकरण आम तौर पर 4000 लीटर/सेकंड की पंपिंग गति के साथ एक वैक्यूम इकाई से सुसज्जित होता है। वैक्यूम चैंबर और वर्कपीस को तेजी से डिफ्लेट करने के लिए, उन्हें अक्सर 300 डिग्री सेल्सियस के तापमान पर पकाया जाता है। इस बात पर जोर दिया जाना चाहिए कि टाइटेनियम कोटिंग में पंपिंग गति, पंप विशेषताओं, पंपिंग प्रक्रिया और आवश्यक जमाव दबाव के बीच सही संबंध होता है। एक कोटिंग चक्र में, वैक्यूम यूनिट की पंपिंग को तीन चरणों में विभाजित किया जा सकता है, अर्थात् ठीक पंपिंग चरण, चमक बमबारी और स्पटरिंग जमाव चरण। बारीक निष्कर्षण का उद्देश्य निर्वात कक्ष में निकलने वाली वायु की मात्रा को कम करना है। परिणाम मुख्य रूप से बेकिंग तापमान और वायु निष्कर्षण समय से निर्धारित होता है, और इसका अंतरिक्ष दबाव से कोई लेना-देना नहीं है, खासकर जब दबाव परिमाण के समान क्रम के भीतर होता है। इसलिए, मुख्य पंप की पंपिंग गति में उचित अंतर के भीतर, ठीक पंपिंग का प्रभाव समान होता है, और वैक्यूम चैम्बर में आउटगैसिंग दर को समान स्तर तक कम किया जा सकता है, हालांकि संबंधित अंतिम वैक्यूम अलग होता है। विशेष रूप से, इस स्तर पर 1000 लीटर/सेकंड आणविक बूस्टर पंप और 1500 लीटर/सेकंड टर्बोमोलेक्यूलर पंप का पंपिंग प्रभाव समान है। चमक बमबारी चरण के दौरान, चूंकि डिस्चार्ज दबाव 2Pa के आसपास होता है, आम तौर पर बोलते हुए, मुख्य पंप की पंपिंग क्षमता प्रभावित होती है। परंपरागत रूप से, पंप के स्थिर संचालन के बदले में पंपिंग गति का त्याग करने के लिए थ्रॉटलिंग विधि का उपयोग किया जाता है। यह प्रसार पंप और टर्बोमोलेक्यूलर पंप दोनों के लिए सच है। विशेष रूप से, प्रसार पंप की पंपिंग गति हानि अधिक होती है, और डिस्चार्ज आर्गन प्रवाह दर भी काफी कम हो जाती है। हालाँकि, इस स्तर पर, केवल एक बड़ी प्रभावी पंपिंग गति और एक बड़ी आर्गन प्रवाह दर ही बेहतर बमबारी सफाई प्रभाव प्राप्त कर सकती है। इस बिंदु पर, आणविक बूस्टर पंप के स्पष्ट लाभ हैं। अंतिम स्पटरिंग जमाव चरण में, सामान्य कामकाजी दबाव 0.5Pa है। प्रसार पंप और टर्बोमोलेक्यूलर पंप को अभी भी थ्रॉटल करने की आवश्यकता है। यह उल्लेख करने की आवश्यकता नहीं है कि इस मामले में, जमाव दबाव को स्थिर करना मुश्किल है। कम पंपिंग दर अनिवार्य रूप से ठीक पंपिंग प्रक्रिया के दौरान सक्रिय गैस (आउटगैसिंग) के आंशिक दबाव में काफी वृद्धि का कारण बनेगी। जब आउटगैसिंग की मात्रा स्थिर होती है, तो सक्रिय गैस का आंशिक दबाव जमा फिल्म की गुणवत्ता पर प्रभाव निर्धारित करता है। आणविक बूस्टर पंप, जो पूरी पंपिंग गति से गैस को स्थिर रूप से पंप कर सकता है, एक बार फिर अपनी श्रेष्ठता दिखाता है। 3. विभिन्न वैक्यूम सिस्टम को अलग-अलग डिग्री के वैक्यूम की आवश्यकता होती है। इसलिए, इसे अक्सर वैक्यूम यूनिट द्वारा पूरा किया जाना चाहिए। अर्थात्, विभिन्न दबाव श्रेणियों में काम करने वाले वैक्यूम पंप श्रृंखला में जुड़े हुए हैं। उच्च वैक्यूम पक्ष पर वैक्यूम पंप सिस्टम द्वारा आवश्यक वैक्यूम डिग्री प्राप्त कर सकता है, जबकि कम वैक्यूम पक्ष पर वैक्यूम पंप सीधे वायुमंडल में छुट्टी दे दी जाती है। स्पष्ट रूप से सबसे सरल वैक्यूम इकाई एक वैक्यूम पंप है जो सीधे वायुमंडल में प्रवाहित होता है। हालाँकि, उच्च वैक्यूम सिस्टम को आम तौर पर तीन-चरण इकाइयों की आवश्यकता होती है, और मध्यम वैक्यूम सिस्टम को आमतौर पर दो-चरण इकाइयों की आवश्यकता होती है। उच्च वैक्यूम पंप और कम वैक्यूम पंप के साथ एक प्रभावी उच्च वैक्यूम इकाई बनाना मुश्किल है। 　　इसके अनेक कारण हैं। यातायात की निरंतरता उनमें से एक है। उच्च वैक्यूम पंपों में फ्रंट स्टेज के दबाव पर सीमाएं होती हैं, यानी, यदि फ्रंट स्टेज का दबाव एक निश्चित दबाव से अधिक है, तो पंप ठीक से काम नहीं करेगा। जब फ्रंट-स्टेज पंप इस महत्वपूर्ण दबाव तक पहुंचता है, तो पंपिंग गति अक्सर कम हो जाएगी, इसलिए फ्रंट-स्टेज पंप का निकास प्रवाह मुख्य पंप के निकास प्रवाह से कम हो सकता है। यह प्रवाह असंगति प्रवाह निरंतरता की आवश्यकता को नष्ट कर देती है और अनिवार्य रूप से वैक्यूम इकाई के ठीक से काम न करने का कारण बनेगी। हालाँकि, यदि एक मध्यम वैक्यूम पंप उच्च और निम्न वैक्यूम पंपों के बीच जुड़ा हुआ है, तो यह एक कनेक्टिंग भूमिका निभा सकता है, प्रवाह दर निरंतर है, और प्रत्येक पंप अपने सर्वोत्तम तरीके से काम कर सकता है। रूट्स पंप मध्यम वैक्यूम रेंज में काम कर सकता है और सबसे उपयुक्त है, इसलिए इसे रूट्स बूस्टर पंप भी कहा जाता है। क्योंकि इसका संपीड़न अनुपात अधिक नहीं है, यह केवल कुछ Pa से लेकर कई सौ Pa की सीमा को जोड़ सकता है। जब तीन चरण वाली उच्च वैक्यूम इकाई उच्च वैक्यूम डिग्री में प्रवेश करती है, तो मुख्य पंप का निकास प्रवाह काफी कम हो जाता है। इस समय, केवल एक छोटा बैकिंग पंप ही वायु निष्कर्षण की निरंतरता बनाए रख सकता है। व्यावहारिक अनुप्रयोगों में, यह आमतौर पर इस्तेमाल की जाने वाली विधि है, जो इकाई की ऊर्जा खपत को कम कर सकती है। उच्च वैक्यूम इकाइयों को अक्सर तीन-चरण इकाइयों की आवश्यकता होने का एक अन्य कारण उच्च वैक्यूम पंप के चूषण दबाव की सीमा है। सभी पंपों में शुरुआती कामकाजी दबाव होता है, और पारंपरिक उच्च वैक्यूम पंप कई Pa की सीमा में होते हैं। इसलिए, मुख्य पंप काम करना शुरू करने से पहले बैकिंग पंप को इस दबाव में पूर्व-पंप किया जाना चाहिए। हालाँकि, वायुमंडल में सीधे डिस्चार्ज होने वाले बैकिंग पंप को इस दबाव तक पहुंचने में अक्सर लंबा समय लगता है, क्योंकि दबाव कम होने के साथ पंप की पंपिंग गति कम हो जाती है। विशेष रूप से वैक्यूम इकाइयों के लिए जो समय-समय पर हवा को पंप करते हैं, कार्यशील वैक्यूम तक पहुंचने के लिए समय की आवश्यकता होती है। प्री-पंपिंग का समय जितना लंबा होगा, कार्यशील वैक्यूम में प्रवेश करने में उतना ही अधिक समय लगेगा। इसलिए, फ्रंटिंग लो वैक्यूम पंप के साथ सहयोग करने के लिए एक मध्यम वैक्यूम पंप जोड़ने से उस दबाव तक पहुंच सकता है जिस पर मुख्य पंप कम समय में काम कर सकता है। यह सिस्टम को जल्द से जल्द काम के दबाव में प्रवेश करने की अनुमति देता है और उपकरण की दक्षता सुनिश्चित करता है। 　　रूट्स पंप और ऑयल बूस्टर पंप दोनों का उपयोग मध्यम वैक्यूम पंप के रूप में किया जा सकता है। आणविक बूस्टर पंपों में अत्यधिक उच्च संपीड़न अनुपात होते हैं, जो न केवल उन्हें स्वच्छ वैक्यूम प्राप्त करने में सक्षम बनाते हैं बल्कि उत्कृष्ट उच्च वैक्यूम प्रदर्शन भी करते हैं। उनके पास मध्यम वैक्यूम रेंज में सुपर पंपिंग क्षमताएं भी हैं। यह आणविक बूस्टर पंप को वर्तमान में मध्यम और उच्च दोनों वैक्यूम प्रदर्शन वाला एकमात्र वैक्यूम पंप बनाता है। इसलिए, तीन-चरण इकाई के बराबर प्रदर्शन के साथ एक उच्च वैक्यूम इकाई बनाने के लिए इसे केवल कम वैक्यूम पंप के साथ मिलान करने की आवश्यकता है। विशेष रूप से, क्योंकि आणविक बूस्टर पंप में उच्च दबाव प्रतिरोध होता है, यह आसानी से बैकिंग पंप को उच्च प्रवाह स्थिति में बना सकता है। ； आणविक बूस्टर पंप का उच्च चूषण दबाव बैकिंग पंप के पूर्व-पंपिंग बोझ को कम करता है। आणविक बूस्टर पंप 100-50Pa पर काम कर सकता है। वायुमंडल से इस दबाव तक, बैकिंग पंप मूल रूप से इस नियम का पालन करता है कि हर बार गुजरने पर दबाव परिमाण के एक क्रम से कम हो जाता है। इसलिए, इकाई में उच्च पंपिंग दक्षता हो सकती है। उच्च वैक्यूम इकाई को सरल बनाना और रूट्स पंप को खत्म करना आणविक बूस्टर पंप का एक और फायदा है। बड़े उच्च-वैक्यूम अनुप्रयोग उपकरण के लिए, पंपिंग समय को और कम करने के लिए बैकिंग पंप की पूर्व-पंपिंग क्षमता को भी उचित रूप से बढ़ाया जा सकता है। चूंकि संपूर्ण निकास प्रक्रिया की तुलना में प्री-पंपिंग का समय बहुत कम है, बैकिंग पंप का उपयोग समय भी बहुत कम है, इसलिए यह उपकरण के कई सेटों के प्री-पंपिंग फ़ंक्शन के रूप में दोगुना हो सकता है, और यह अक्सर बहुत यथार्थवादी होता है। यह वैक्यूम इकाइयों के बड़े पैमाने पर अनुप्रयोग को सक्षम बनाता है * * सरलीकरण. कुछ मध्यम वैक्यूम अनुप्रयोगों में, 10-1 Pa रेंज में प्रवेश करना आवश्यक है, जिसे दो-चरण रूट्स पंप इकाई के लिए हासिल करना अक्सर मुश्किल होता है। हालाँकि, दो-चरण रूट्स पंप के साथ श्रृंखला में जुड़ी तीन-चरण इकाई का उपयोग परिमाण के क्रम से वैक्यूम को बढ़ा सकता है और 10-1 Pa में प्रवेश कर सकता है। इसलिए, तीन-चरण इकाइयों का उपयोग आमतौर पर मध्यम वैक्यूम अनुप्रयोगों में भी किया जाता है। चूंकि आणविक बूस्टर पंप 10-1 Pa पर पूर्ण पंपिंग गति तक पहुंच सकता है, यह तीन-चरण मध्यम वैक्यूम इकाई में दो-चरण रूट्स पंप को भी प्रतिस्थापित कर सकता है। सामान्यतया, आणविक बूस्टर पंप पूरी तरह से रूट्स पंपों की जगह ले सकते हैं जो लंबे समय तक मध्यम वैक्यूम के निम्न-अंत दबाव रेंज में काम करते हैं। मध्य-वैक्यूम और उच्च-अंत दबाव रेंज में लंबे समय तक काम करने वाले अपेक्षाकृत कम रूट पंप होने चाहिए, क्योंकि इस दबाव रेंज में बैकिंग पंपों में अक्सर मजबूत पंपिंग गति होती है। यह मैक्रोस्कोपिक रूप से रूट्स पंपों की जगह आणविक बूस्टर पंपों की संभावना की भविष्यवाणी करता है।

मैं यह भी पूछना चाहता हूं कि आप जिस अनुपात की बात कर रहे हैं वह पंपिंग गति अनुपात है?

वायु निष्कर्षण माध्यम को छोड़कर, मिलान के बारे में बात करने का कोई मतलब नहीं है। आप जो पंप कर रहे हैं वह हवा नहीं है? परम निर्वात की तरह, मॉडल चयन के लिए सैद्धांतिक मूल्य अर्थहीन है। ；

पंपिंग गति द्रव्यमान प्रवाह दर के समान होनी चाहिए, लेकिन संपीड़न अनुपात, दबाव अंतर इत्यादि के कारण वॉल्यूमेट्रिक दक्षता में परिवर्तन पर ध्यान दिया जाना चाहिए, जो द्रव्यमान प्रवाह दर में परिवर्तन को प्रभावित करेगा।； प्राथमिक और माध्यमिक पंपों के लिए, संपीड़न अनुपात गतिशील है और वास्तविक कामकाजी दबाव आवश्यकताओं, सक्शन माध्यम आदि पर निर्भर करता है।

संपीड़न अनुपात क्या है? क्या आप मुझे और अधिक विशेष रूप से बता सकते हैं? धन्यवाद

संपीड़न अनुपात निश्चित नहीं है. संपीड़न अनुपात घूर्णन गति, दबाव अंतर और गैस से संबंधित है, जो बदले में वॉल्यूमेट्रिक दक्षता को प्रभावित करता है! इसमें बहुत कुछ शामिल है, और यह किसी भी तरह से केवल कुछ अनुपातों के साथ एक इकाई को डिजाइन करने का सामान्य तरीका नहीं है।……