超高真空システム 真空ポンプの配置 分子ポンプの配置
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専門家にお伺いします：超高純度ガスを製造する生産ラインで、超高真空まで真空引きを行う場合、真空ポンプの構成はどのようにすればよいでしょうか？ 生産ラインには一連の容器があり、製造工程の途中で間欠的に超高真空状態にする必要がありますが、各容器に分子ポンプを1台ずつ設置する必要がありますか？分子ポンプの前置ポンプは共有できますか？ 理解している方々、ぜひアドバイスをお願いします！！
分子ポンプは別々に1対1で設置するのでしょうか？
どう使いたいですか？作業条件は非常に重要です。分子ポンプは、起動時の真空度が約5Pa程度でなければ動作しません。要求される真空度に達していない状態で起動すると、分子ポンプが破損する可能性が高くなります。ご使用の際はご注意ください