真空ポンプの排気速度
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質問ですが、インバーターを搭載していないモーターを使って、ウォーターリング真空ポンプやロータススクリュー真空ポンプの排気速度を制御したいのですが、どのように操作すればよいでしょうか
出入り口の連通バルブの開度を調整することで、真空引きの速度を制御できる。
排気管路と吸気管路の間にバランス管路を設け、その中間で調整弁によって調整することができる。この方法は周波数変換調整よりも広く応用されている
出入りバルブで流量を制御する
真空ポンプの入口にあるバッファタンク、または真空引きが必要な装置に窒素配管を設置し、調節弁で窒素の供給量を制御することで、真空度を調整して排気速度をコントロールできる
真空ポンプの吸気ラインには三通が取り付けられ、分岐ラインには調整バルブが設置されて真空速度を制御する。支路は排気管路または大気に接続できる（真空排気の気相成分によって異なる）。
2つの方法が選べ、インポート排気バルブとスイッチ入口バルブです。