複数の真空容器を用意し、1～2分おきに1つずつ開けていく場合、各真空容器の真空度が順番に所定値に達するようにどう制御するか
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皆さん、約0.6立方の真空容器が5つあり、同じ真空システムを共有しています。1～2分ごとに1つの真空容器のバルブを開けたいのですが、どうすればよいでしょうか。また、後から真空容器を開けても、先に開けた容器の真空度に影響が出ないようにしたいです。真空バルブを開く順番に従って、段階的に真空度を上げていきたいと思います。しかし、2番目の真空チャンバーでバルブを開くとき、1番目の真空度は既に一定の限界に達しているため、前のものと同じ真空度になるまで待って、そうして初めて一緒にさらに真空度を上げていく必要がある。制御する方法はないか。
ポンプの流量が十分に大きく、主管が十分に太く、支管を細くするかバルブを少し絞れば、主管の圧力を容器の圧力より低く保つことでガスの混入は防げる
各タンクの真空抜き管には逆止弁を取り付けることを推奨します
逆止弁には抵抗があり、真空度が下がらない
バッファタンクを直接取り付けて、まずそのバッファタンク内の圧力をある程度の真空度まで下げてからバルブを開ければ、うまくいくはずです。しかし、新たな問題が生じる可能性があります。瞬間的に圧力が下がると、吸引音が非常に大きくなったり、爆発音が発生したりするのです。
逆止弁付きの2つのチャンバーにガスが入ると、1チャンバーと2チャンバーが連通し、1つの容器となります。その場合、1チャンバーの真空度が設定値に達するのは、2チャンバーの真空度も同時に設定値に達するのを待たなければならないのでしょうか。
抽出した後はその真空タンクのバルブを閉じ、最後のものを抽出したら、一度にすべてのバルブを開けます。