質量流量計の精度について
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圧力センサーと質量流量コントローラーの要求が異なる以外は他は同じですが、最終的な溶液に含まれるガス濃度がppbレベルであることが分かっている場合、質量流量計の精度をどのように求めるか教えていただきたいです
精度は正確に測定しにくく、精度はメーカーが出荷時に基準値をもとに測定したものです。最良の工程条件のみを提供し、各成分をできるだけ一定に保ち、圧力と安定性、流量も安定させる
質量流量計の精度を計算できる式はありますか？
これは計算できない。測定した流量が正確かどうか分からないからだ。計算も単なる式に過ぎず、測定値は多くの要因に影響される
では、大まかな範囲を特定する方法はあるのでしょうか
あなたが今使っている質量流量計は、そのような原理のものを使ったことがありますか？
流量計はまだどの種類を使うか決まっておらず、原理もどれを使うかわかりません。適用できれば何でもいいのです。今は流量計の精度を決める必要があります。条件はその程度で、どう計算すればいいのかもわかりません
現在の目標は、定値微量混合標準ガスを作ることです
それは校正の問題で、一般的に質量流量計の校正には重量法が用いられます。