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質量流量計は、流体の質量流量による振動管の振動の変調作用、すなわちコリオリ力現象を原理として用い、質量流量を測定することを目的としたもので、一般的にはセンサーとトランスミッターで構成されています。質量流量計の選定時の注意点 1. 適切なブランドを選ぶこと:一般的には、製造元の製品品質、販売価格、アフターサービス、技術水準、製品の特徴、生産規模、企業の信用度などの要素を総合的に評価する必要があります。 2、正しい測定範囲を選ぶことに注意してください:①必要な流量を標準状態での流量(質量流量)に換算してください。 ②メーカーが提供する質量流量変換係数表に基づき、ご使用のガスの質量流量値を、窒素(校正用ガス)と同等の質量流量値に換算します。実際に使用するガスで校正したい場合は、メーカーにご相談ください。質量流量変換係数に関する問題について、以下にさらなる回答があります。 ③必要な標準測定範囲を決定する。メーカーには通常、さまざまな規格の標準測定範囲があり、実際に使用する流量の最大値は、ある標準測定範囲の値よりも低くなければなりません。標準測定範囲の選定にあたっては、過大または過小にならないようにしなければならない。質量流量の誤差指標は、フルスケール値のパーセンテージで定められており、実際の流量が小さいのにスケール値を大きく設定すると、測定値の相対誤差が大きくなる。 3、適切な動作圧力の指標を選ぶこと:製品によって動作圧力の指標は異なる場合があるため、自分に適した製品を選ぶようにしましょう。質量流量コントローラー(MFC)には、最大動作圧力のほかにもう一つの動作圧力の指標があります。それが動作圧差で、つまりMFCの吸気側と排気側の間の圧力差のことです。選定時にはもちろん、使用時にも注意が必要です。 4、製品内部の分岐器の形態に注意する:分岐器の形態は技術的な指標ではありませんが、実際の使用において分岐器が原因で故障が発生した事例があるため、ユーザーとして留意すべき点として挙げています。一般的な分岐器にはチューブ型、円錐型、粉末冶金型の3種類があり、それぞれ特徴があります。比較すると、最初のタイプは詰まりにくく耐久性が最も高く、最後のタイプは比較的に詰まりやすいです。このような事例をいくつか見てきました。ユーザーが有名な輸入品のMFC(粉末冶金製の分流器)を使用しており、ガス供給源も厳重にフィルタリングされているにもかかわらず、すぐに詰まってしまうのです;しかし、当社の製品に交換すると、ずっと正常に動作します。問題は明らかに分岐器にある。分析によると、使用されているガスの付着性が強すぎるために粉末冶金製のスプリッターが詰まってしまった可能性があります。もちろん、粉末冶金製のスプリッターにも利点があり、他のスプリッターにも欠点があるため、ユーザーは自分の使用環境に応じて検討する必要があります。 5、適切な精度指標の選択に注意する:正確度、線形性、再現精度は比較的重要な指標であり、その中でも再現精度は多くの応用分野において特に重要です。指標は必ずしも最高値を目指す必要はなく、自分の実際のニーズを考慮すべきです。メーカーが示す指標に不安がある場合は、条件が許せばユーザー自身で校正することも可能です。校正の方法については、下記の関連内容をご覧ください。 6、適切な応答時間の指標を選ぶことに注意してください。一部のアプリケーションシステムではMFCの応答時間に高い要求があるため、ユーザーは自身の状況に応じて検討する必要があります。応答時間の指標を考慮する際には、その応答過程や動的特性にも注意を払う必要がある。 7、設置場所に制限がないか確認する:一部のメーカーの製品は、必ず水平な位置で設置することが求められています。 8. 製品の動的応答特性に注意する:一部のシステムでは、トラフィックに対する動的応答特性に高い要求があるため、このような場合はユーザーは具体的な製品の応答特性を十分に理解しておくべきである。 9、ゼロ点の安定性に注意する:計量製品において、ゼロ点の安定性は非常に重要であり、同時に保証しにくいものでもある。異なる製品のゼロ点安定性は異なる場合があります。 10、適用範囲に注意:使用環境や媒体の温度、ガス供給圧力、媒体の種類(特に腐食性ガスを使用する場合)などには一定の適用範囲がありますので、説明書をよく読んだり、メーカーにご相談ください。 11、注文時には、製品名、型番、流量仕様、校正用ガス、使用ガス(特に腐食性ガス)、接続部の形状と数を明記する必要があります。