ウォーターリング真空ポンプのサージ
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当社の変圧吸着装置は、合計4台のウォーターリング真空ポンプで構成されており、A群とB群の2つのグループに分かれ、2基稼働・2基予備となっています。通常の運転中、グループAのウォーターリングポンプが間欠的に排気が必要なタンクの排気作業を行う（プログラム制御で、タンク内圧力が50KPaに達した時にタンクの出口バルブが開く）。最近、タンクの出口バルブを開いた後5秒以内に、ウォーターリング真空ポンプから強い異音と振動が発生し、5秒後に正常に戻るという現象が見られました。しかし、全体を通して、ウォーターリングポンプの排気効果に変化は見られなかった。その後、ウォーターリングポンプの作動液を補充したところ、異音や振動がなくなった。作業液が不足しているからでしょうか？作業液が不足していると、排気効果に影響しませんか？振動や異音を引き起こすのでしょうか？皆様のご指導をお願いします。ありがとうございます！
作業液が不足していることが原因で、遠心ポンプの真空状態による振動や異音と似ています。
作業液が不足しており、作業液の温度上昇が過度になることで蒸発が起こり、ローターの各方向の力のバランスが崩れて振動や異音が発生する~~~
作動時、ウォーターリング真空ポンプの入口は密閉された配管であり、この密閉配管は容器に接続されている。両者の間には空気圧バルブがあり、容器内には圧縮ガスが入っている。空気圧バルブが定時に開き、開いた後に真空ポンプが排気を開始する。ちょうど排気した数秒間は振動が激しく、数秒後には正常に戻りました。
切り替え時に真空ポンプの入口で気圧が高く、流量が多かったため、瞬間的な衝撃が原因かもしれません
大量の水が抜けると、このような現象が起こります