水素精製技術について
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国内ではパラジウム膜技術において着実にブレークスルーがもたらされており、電子級多結晶シリコンの製造にはこの技術を用いた高純度水素が使用できます。国内にはこの技術が応用されている装置や製造業者はありますか？
パラジウム膜技術は電子級水素の精製に応用できるが、処理量が少なくコストも高い。電子級多結晶シリコンシステムで万立方メートル規模のガスを処理する場合、投資額は非常に大きくなる
ターゲット膜が大規模な工業的応用に至るまでには、まだ長い道のりがある！
ターゲット膜が大規模な工業的応用に至るまでには、まだ長い道のりがある！
ターゲット膜装置は1時間あたり通常数百立方メートルの水素しか処理できず、さらにエネルギー消費も高い。 電子級多結晶シリコンの水素精製法は、CDI社の乾式回収活性炭吸着を基礎とし、深冷吸着工程を加えたものである。