停止中の吸着剤タンクの減圧はどのように行うか
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過度な減圧を防ぐため、吸着器の入口および出口側の遮断弁を閉じてください。シリーズ脱着ガスライン上の隔離バルブを開けます。減圧吸着器の解析ガスバルブを開き、ゆっくりと減圧する。吸着器の入口側にある隔離弁を徐々に開き、吸着器内の圧力を所定の値まで下げます。圧力の降下速度は0.35MPa/分を超えてはなりません。補足を求む
主に、圧力が急激に低下するのを防ぎ、それによって吸着剤が損傷するのを避けるためです~~
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