실리콘 테트라플루오라이드 함량 분석 장비 추천 요청
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실리콘 테트라플루오라이드 순환 가스: 실리콘 테트라플루오라이드 함량은 98.5% 이상이며, 질소 함량은 0.2% 미만입니다. 작동 온도는 20~45℃이고, 작동 압력은 0MPa입니다. 밀도는 4.64kg/Nm3이며, 파이프 크기는 DN25입니다.열기 가스: 질소가 74.86–72.9%, 산소가 12.09–6.54%, 이산화탄소가 4.07–6.58%, 물이 8.09–13.11%를 차지합니다. NOx의 경우, 3.5%의 산소로 환산했을 때 농도는 200mg/m3입니다. 작동 온도는 300℃이고, 작동 압력은 0MPa입니다. 파이프 크기도 DN25입니다. 좋은 규소테트라플루오린화물 함량 측정 장비가 있을까요?