확산실리콘 압력 변환기 작동 원리

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확산실리콘 압력 변환기는 센서와 신호 처리 회로로 구성됩니다.센서는 작업 현장에서 측정해야 할 물리량인 압력 신호를 전압 신호로 변환하는 역할을 합니다；신호 처리 회로는 센서가 출력하는 전압 신호를 증폭하여 처리한 뒤, 표준 신호로 출력하는 역할을 합니다.높은 측정 정밀도, 빠른 동적 응답 속도, 직류 신호 출력이 가능하다는 점, 우수한 선형성, 넓은 작동 온도 범위, 가벼운 무게, 작은 크기, 단순한 구조라는 장점들 덕분에 다양한 산업 분야에서 널리 사용되고 있습니다.확산 실리콘 압력 센서는 단결정 실리콘을 기반으로 하며, 첨단 이온 주입 공정과 마이크로메카니컬 가공 공정을 활용하여 휘스턴 브리지와 정밀한 역학 구조를 갖춘 실리콘 센서 소자가 제작됩니다.측정되는 압력은 압력 인터페이스를 통해 실리콘 감지 소자에 가해지며, 이를 통해 가해진 압력과 출력 신호 사이의 선형적인 변환이 이루어집니다. 레이저로 조정된 두꺼운 막 저항 네트워크는 감지 소자의 온도에 따른 성능 변화를 보상해 줍니다.단결정 실리콘의 압전 효과를 이용하여, 특정 방향으로 첨단 가공 기술을 적용해 탄성 부품을 제작합니다. 그리고 적절한 위치에 집적회로 공정을 통해 제작된, 저항값이 모두 같은 4개의 변형 저항을 연결하여 와이스브리지를 구성합니다.측정되는 매체의 압력이 센서의 멤브레인(스테인리스 스틸 또는 세라믹)에 직접 작용하여, 멤브레인이 매체의 압력에 비례하는 미세한 변위를 일으킵니다. 매체의 압력은 스테인리스 스틸로 된 격리막을 통과하여 밀봉된 실리콘 오일을 거쳐 확산 실리콘 멤브레인의 한쪽에 작용합니다. 반면 다른 쪽에는 기준 압력(대기압 또는 밀봉 압력)이 작용합니다. 이러한 두 압력의 작용으로 인해 멤브레인의 한쪽은 압축되고 다른 쪽은 팽창하게 됩니다. 이 압력 차이로 인해 전기 브리지가 불균형을 이루게 되고, 그 결과 압력 변화에 따른 신호가 출력됩니다.회로 부분에서는 와이스덴 브리지가 정전류 공급 방식을 사용하여, 온도의 영향을 받지 않도록 합니다. 브리지에서 나오는 신호는 차분 정규화 증폭기를 통해 증폭된 후, V/I 변환기를 거쳐 전류로 변환됩니다. 이 전류는 비선형 보정 회로를 통해 보정되어, 압력 변화와 선형적인 관계를 가진 4-20mA ADC 표준 신호가 출력됩니다.장쑤 후이커 자동화 계측기 유한회사는 고객님께 전문적인 제품 선정 조언과 신뢰할 수 있는 제품을 제공해 드립니다. 궁금한 점이 있으시면 언제든지 저희에게 연락해 주시기 바랍니다. 저희는 전문 기술 인력을 배치하여 고객님의 질문에 답변해 드리겠습니다.