Solicitação de recomendações para instrumentos de análise do teor de silício tetrafluoreto
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Gás de ciclo de tetrafluoreto de silício: teor de tetrafluoreto de silício superior a 98,5%, teor de nitrogênio inferior a 0,2%. Temperatura de operação: 20–45°C. Pressão de operação: 0 MPa. Densidade: 4,64 kg/Nm3. Tamanho do tubo: DN25.Gás quente: teor de nitrogênio de 74,86–72,9%, teor de oxigênio de 12,09–6,54%, teor de dióxido de carbono de 4,07–6,58%, teor de água de 8,09–13,11%. Teor de NOx (após conversão para 3,5% de O2): 200 mg/m3. Temperatura de operação: 300°C. Pressão de operação: 0 MPa. Tamanho do tubo: DN25. Existe algum bom equipamento para detectar o teor de tetrafluoreto de silício?