Faixa de núcleo de silício colorida
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Olá a todos. Muitas pessoas dizem que o problema das faixas de silício coloridas se deve à presença de nitrogênio. No entanto, após analisar o teor de N2 em H2, constatou-se que seu nível é muito baixo； Além disso, após a análise por sonda eletrônica do núcleo de silício colorido, não foi encontrado nenhum elemento N. Peço a ajuda de todos! ! !
Pessoalmente, acho que é causado pela secagem incompleta do forno.
Na minha opinião, tem a ver com a pureza do hidrogênio; aumentar a pureza do hidrogênio provavelmente trará melhorias
@No quarto andar, o fenômeno de oxidação é raramente observado. Além disso, após análise com sonda eletrônica em grandes quantidades de amostras (superfícies coloridas), foram detectados os elementos Si e C, ou então os elementos Si, O e C. Além disso, esses núcleos de silício colorido podem ser corroídos por soluções de HF
@Sexto andar: se o problema for a pureza do hidrogênio, então qual componente presente no hidrogênio em circulação é responsável por causar anomalias na superfície do núcleo de silício? Além disso, nos fornos de crescimento com hidrogênio puro também ocorrem anomalias no núcleo de silício
Comece com os seguintes aspectos: forno de redução, substituição do ar por nitrogênio em condições adequadas, controle do ponto de orvalho abaixo de -45°C; é necessário medir em cada forno, registrar os valores e criar gráficos, comparando-os com as condições do núcleo colorido. (Ao limpar as paredes do forno, é essencial secá-las e limpá-las completamente. Isso é muito importante: não se deve permitir que álcalis ou outras substâncias fiquem nas paredes do forno. A pressão do bico de pulverização automático utilizado para a limpeza também é muito importante.) Medir o teor de oxigênio no gás após a substituição pelo nitrogênio; registrar esses valores para cada ciclo de produção e plotar curvas, comparando-os com as condições do núcleo colorido. Após a substituição do nitrogênio pelo hidrogênio, o teor de nitrogênio no hidrogênio é determinado da mesma maneira. Além disso, evite poluir o núcleo de silício. Isso deve ser obtido a partir de um núcleo de silício, com controle rigoroso durante os processos de processamento e limpeza. Na verdade, esse controle de qualidade já não é um problema no processo de produção de silício polimórfico. O ponto chave é a redução constante do consumo energético total e o funcionamento seguro.
Muito obrigado! Além disso, gostaria de perguntar: o descolamento do núcleo de silício (com cores amarelo-acastanhado e preto), que ocorre principalmente na região da raiz, poderia estar relacionado à temperatura mais baixa na região da raiz do núcleo de silício durante o processo de alimentação, o que pode levar à formação de silício amorfo? Gostaria de saber também, qual é a temperatura adequada durante o processo de alimentação? (Nós utilizamos núcleos de silício quadrado)