シリコンコアカラーバンド
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皆さん、シリコンコアに色がつくのは窒化物の問題だと言う人が多いですが、H2中のN2含有量を調べてみると、N2の量は非常に少ないことがわかりました；また、着色されたシリコンコアを電子プローブ分析したところ、N元素は含まれていなかった。皆さん、ご指導をお願いします！！！
個人的には、炉筒の洗浄と乾燥が不十分だったことが原因だと思います。
個人的には水素の純度が関係していると思います。水素の純度を上げれば改善するでしょう
@4階では酸化現象はほとんど見られず、また、多数のサンプル（着色面）を電子プローブで分析した結果、SiとCの元素、あるいはSi、O、Cの元素が検出されました。そして、これらの着色されたシリコンコアはすべてHF溶液によって腐食される
@6階、もし水素の純度が問題だとするなら、循環水素中のどのような成分がシリコンコアの表面に異常を引き起こすのでしょうか？また、純水素で成長させる炉にもシリコンコアの異常が発生する場合があります
以下のいくつかの点から取り組む：還元炉、窒素による空気置換の適合性、露点を-45℃以下に制御し、各炉で測定して記録し曲線を描き、カラーコアの状況と比較する。（炉壁を洗浄する際は、必ず乾燥させてから洗うことが非常に重要です。アルカリやその他の物質が炉壁に残らないようにしましょう。自動洗浄用の回転ノズルの圧力も重要です。） 窒素置換後のガス中の酸素含有量を測定し、各炉ごとに記録してグラフにまとめ、カラーコアの状況と比較する。 水素で窒素を置換した後の水素中の窒素含有量、方法は上記と同じ。 また、シリコンコアの汚染を避けること。これはシリコンコアから引き出し、加工や洗浄の過程で厳格に管理する必要があります。 実際、これらの品質管理は、多結晶シリコンの製造過程においてももはや難しいことではない。重要なのは、総電力消費量の着実な削減と安全な運用です。
本当にありがとうございます！また、シリコンコアが剥離して（色は黄褐色や黒色）主に根元部分で見られるのですが、これは給材時のシリコンコアの根元部分の温度が低く、非晶質シリコンが形成されることと関係があるのでしょうか？また、投入時の温度は一般的にどのくらいが適切でしょうか？（私たちが使用しているのは方形シリコンコアです）