PSAの調節バルブがいくつか自動に切り替わっているのに、なぜ設定値が勝手に変わってしまうのでしょうか？
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例えば、洗浄工程で使用されるその調整弁ですが、明らかに自動モードに設定されているのに、調整弁の開度だけが変わるはずなのに、なぜその設定値が勝手に変わってしまうのでしょうか？
与えられた値が自動的に変化するのが串列制御です。
このバルブはプログラムによって制御され、上限・下限のバルブ位置が事前に設定されており、バルブの開度は吸着ステップの変化に応じて変動します。下限は、順放終了時に吸着圧力がちょうど順放圧力になるようにするもので、上限は、順放開始時に順放タンクの圧力がちょうど0.03MPaに低下するようにするものです。
あなたが言うその上限と下限は傾きだとわかっていますが、今は自動であり、傾きではありません
この投稿は最後にdpclove21によって2016-7-27 22:53に編集されました。上限と下限はバルブの予め設定された開度で、上限のバルブ開度SVは50％、下限のバルブ開度SVは10％です