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Ein Polysiliziumwerk ist ein chemisches System mit hohen Anforderungen an die Reinheit, komplexen Produktionsprozessen und einer Vielzahl von Geräten (einige weisen zudem Eigenschaften von Metallurgiesystemen sowie Halbleiterbauelementen auf). Um die Zeit für die Reinigungsprozesse während der Inbetriebnahme des Prozesssystems zu verkürzen und die Inbetriebnahmekosten so weit wie möglich zu senken – schließlich ist die Fehlerquote in der Phase der Systemreinigung hoch und der Wert der hergestellten Produkte gering – muss vor der Installation der Prozessanlagen und -leitungen eine gründliche Reinigung durchgeführt werden. Dadurch kann das Gerät bereits frühzeitig hochreinen Polysilizium produzieren. Je nach den verschiedenen Prozessanforderungen, den Materialien der Geräte sowie den verschiedenen Gerätetypen, den Anforderungen an die Reinigung sowie den zu erfüllenden Grundstandards – wie zum Beispiel die Anforderungen an ein ölfreies, wasserfreies, staubfreies und schmutzfreies Umfeld sowie die Anforderungen an die Vorbereitung des Kreislaufwassers – müssen unterschiedliche Reinigungsverfahren angewandt werden. Die Reinigungsverfahren lassen sich in vier Kategorien einteilen: Sprühreinigung, Kreislaufreinigung, Tauchreinigung (mit oder ohne Einsatz von Behältern) sowie Wischreinigung. Technische Abteilung von Sichuan Xiangguang Cleaning Technology Co., Ltd