Thread Content
Напряжение в печи восстановления падает слишком быстро, как с этим бороться с нескольких точек зрения.
Лучше, если будут кривые, иначе никто не сможет этого объяснить
Это когда напряжение превышает норму. Какие есть опасности и как контролировать ситуацию, чтобы оно не падало так быстро?
Как правило, это происходит из-за слишком быстрого роста внутри печи и сильного распыления, что приводит к образованию на кремниевых стержнях большого количества структур, похожих на зерна кукурузы, или стержней с рыбьей чешуёй.
Рекомендации по устранению проблемы: 1. Снизить ток, проходящий через кремниевые стержни, что позволит снизить температуру газовой среды в печи; 2. Увеличить соотношение H2/TCS, а также увеличить количество водорода. Если происходит сильное распыление газа внутри печи, необходимо немедленно отключить TCS. После ремонта можно снова начать подачу материала. В противном случае рекомендуется остановить работу печи, чтобы избежать образования «чешуйчатых» структур в продукте.
Можете рассказать о способе повторной загрузки? Я ещё не использовал этот метод. Не знаю, в чём суть!
При высоком контроле температуры прекращение подачи тока или повышение напряжения водорода не приведут к слишком быстрому падению.
При высоком контроле температуры прекращение подачи тока или повышение напряжения водорода не приведут к слишком быстрому падению.
Пока не стоит увеличивать ток; следует снизить соотношение компонентов и увеличить объем циркуляции водорода. Таким образом напряжение будет снижаться медленнее, а кристаллы кремния станут более плотными, а их поверхность — более гладкой
Как увеличить объем циркуляции водорода? ? Ведь извлечение водорода — это и есть регулирование соотношений, верно?