Thread Content
مرحبًا بالجميع، يقول الكثيرون إن المشكلة في النواة السيليكونية تكمن في نيتريد النيتروجين، لكن بعد قياس نسبة N2 في غاز H2، تبين أن نسبة N2 منخفضة جدًا; وعلاوة على ذلك، أظهر تحليل النواة السيليكونية الملونة بالمسبار الإلكتروني عدم وجود عنصر النيتروجين. أرجو من الجميع تقديم المشورة! ! !
أعتقد شخصيًا أن السبب هو عدم تجفيف أسطوانة الغسيل بشكل كامل.
أعتقد شخصيًا أن الأمر مرتبط بنقاء الهيدروجين، فمن المتوقع أن يؤدي رفع نقاء الهيدروجين إلى تحسين الوضع
@في الطابق الرابع، نادراً ما يحدث تأكسد. علاوة على ذلك، بعد فحص عينات كبيرة (ذات ألوان) باستخدام المسبار الإلكتروني، تم اكتشاف وجود عناصر السيليكون والكربون، أو عناصر السيليكون والأكسجين والكربون. ويمكن لهذه النوى السيليكونية الملونة أن تتآكل بواسطة محلول HF
@الطابق السادس، إذا كان الأمر يتعلق بنقاء الهيدروجين، فأي مكونات في الهيدروجين المستخدم في الدورة تؤثر على ظهور حالات غير طبيعية على سطح النواة السيليكونية؟ بالإضافة إلى ذلك، توجد أيضًا حالات لخلل في النواة السيليكونية في الأفران المستخدمة لتصنيع الهيدروجين النقي
يتم البدء من الجوانب التالية: فرن إعادة التكوين، استبدال الهواء بالنيتروجين بشكل صحيح، الحفاظ على نقطة الندى أقل من -45 درجة مئوية، يجب قياس كل فرن وتسجيل النتائج ورسم منحنيات لها، ثم مقارنتها بحالة النواة الملونة. (عند تنظيف جدران الفرن، يجب تجفيفها وتنظيفها جيدًا؛ هذا أمر بالغ الأهمية، فلا يجب أن يترك القلويات أو أي مواد أخرى على جدران الفرن. كما أن ضغط رأس الرش الأوتوماتيكي المستخدم في التنظيف مهم للغاية). يتم قياس نسبة الأكسجين في الغاز بعد استبدال النيتروجين، ويتم تسجيل هذه القيم في كل جلسة تصنيع ورسم منحنى لها، ثم مقارنتها بحالة النواة الملونة. بعد استبدال النيتروجين بالهيدروجين، يتم قياس نسبة النيتروجين في الهيدروجين بنفس الطريقة. بالإضافة إلى ذلك، يجب تجنب تلوث النواة السيليكونية. يجب استخلاصه من النواة السيليكونية، مع التحكم بدقة في عمليات المعالجة والتنظيف. في الواقع، لم تعد عمليات التحكم في الجودة هذه صعبة في عملية إنتاج السيليكون المتعدد البلورات. المفتاح هو الانخفاض المستمر في استهلاك الطاقة الكلي والتشغيل الآمن.
شكرًا جزيلًا لك! بالإضافة إلى ذلك، أود أن أسأل: هل يمكن أن يكون سبب تقشر الجزء الداخلي من السيليكون (الذي يكون لونه بنيًا صفراء وأسود)، والذي يحدث بشكل رئيسي في الجزء السفلي من السيليكون، مرتبطًا بانخفاض درجة حرارة ذلك الجزء أثناء عملية التغذية، مما يؤدي إلى تكوّن سيليكون غير منتظم البنية؟ أرجو أيضًا معرفة، ما هو المستوى المناسب لدرجة الحرارة أثناء إدخال المواد؟ (نحن نستخدم نواة سيليكون مربعة)